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シンプルな比較基準のためのピエゾレシシブ,容量性および単結晶性シリコン共鳴圧力送信機

2024-12-17

圧力伝達器は,工業自動化制御に使用される最も一般的なセンサータイプの一つです.容量型と単結晶性シリコン共鳴型は3つの主要なタイプです各自独自の働き方原理,利点とデメリット,応用シナリオ

 

ピエゾレシスティブ圧力トランスミッター

作業原理

ピエゾレシシブ圧力トランスミターは,圧力で引き起こされる機械的変形を電気信号に変換するために,モノ結晶またはポリシリコンのピエゾレシブ効果を使用する.

1圧力は感知弁に作用し,弁は弾性変形になります.

2面膜のピエゾレシシブ要素 (レジスタ) は,力によって抵抗値を変化させる.

3抵抗の変化は,ホイートストーン橋を通って電圧信号に変換され,出力電気信号は圧力に比例します.

 

利点:

1高精度で

2シンプルな構造と低コスト

3ダイナミック圧力測定に適した高速応答速度

 

デメリット:

1温度に敏感で,温度補償が必要です.

2機械的な振動に敏感だ

3一般的な長期安定性,大きな漂流

 

応用シナリオ

•液体,ガス,蒸気の圧力測定

• 水処理設備,自動車用油圧,冷却システムなど,広範なエンジニアリング用途

 

容量式圧力トランスミッター

作業原理

容量式圧力トランスミッタは,容量変化を起こすために圧力を使用する原理:

1圧力は金属または非金属弁に作用し,弁の弾性変形を引き起こす.

2弁と固定電極は変容電容器を形成し,圧力の変化により電容値が変化します.

3容量変化が電気信号に変換され,出力信号は圧力に比例します.

 

 利点:

1高い感度で,特に小圧測定に適しています.

2低温効果,長期安定性

3高圧と低圧の測定に適しています.

 

デメリット:

1汚れ,湿度,その他の環境に敏感で,特別な処理が必要です.

2信号処理は複雑でコストも比較的高い.

3反応速度はピエゾレシスティブ型よりも少し遅い.

 

応用シナリオ

• 医療用空気圧や食品加工機器などの精密シナリオ

• 高温,高圧,高腐食性環境,例えば化学および石油産業

 

単結晶性シリコン共鳴圧力トランスミッター

作業原理

単結晶シリコン共鳴圧力トランスミッタは,単結晶シリコンの共鳴周波数変化の原理を使用します.

1マイクロ共鳴器は単結晶のシリコン弁で処理されます.

2圧力は弁の変形を引き起こし,共鳴器のストレスの変化をもたらします.

3ストレスの変化によって 振動周波数が変化します

4振動周波数の変化を測定した後,アルゴリズムで圧力値を計算します.

 

利点:

1高精度

2長期間の測定に適した安定性,小漂流性.

3強力な反干渉能力,電磁気や環境の干渉に敏感ではない.

4高温,高圧,厳しい環境に適しています

 

デメリット:

1高い製造コストと高い価格

2応答速度は少し遅いため,静的または準動的測定に適しています.

3複雑な設計と校正

 

応用シナリオ

高精度と信頼性を要求するアプリケーション,例えば石油・ガス・パイプライン,航空宇宙圧力測定

• 計量技術と研究機器